第25届世界微机械大会在西北工业大学举行

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5月7日，由西北工业大学主办的第25届世界微机械大会在陕西Xi大唐西施大酒店隆重举行。

第25届世界微机械峰会由中国代表团主办，来自20多个国家和地区的近100名代表出席了会议。西北工业大学校长王劲松出席了开幕式。

第25届世界微机械大会(MMS 2019)的主题是“智能制造——从芯片开始”，包括微纳尺度的能量采集与存储、生物芯片、光电设备、柔性电子器件、先进印刷技术以及其他与微纳技术和智能系统相关的研发成果。

会议级别高，招标难。

世界微机械峰会是微机械技术领域的世界顶级会议，来自美国、日本等20多个在微机械技术领域具有国际竞争力的国家和地区的代表团出席了会议。

世界微机械大会旨在促进和展示微纳技术和智能系统在世界各地的工业、学术界和政府的发展。代表团成员以圆桌会议的形式讨论了各国和各地区微纳技术的最新研究进展，进一步推动了各国微纳技术和智能系统的发展。

世界微机械峰会是由日本微机械中心于1995年举办的。1995年3月13日至15日在日本京都举行了第一次多媒体会议。来自10个国家的代表出席了会议。此后，每年在蒙特勒(瑞士，1996年)、温哥华(加拿大，1997年)、墨尔本(澳大利亚，1998年)、格拉斯哥(苏格兰，1999年)、广岛(日本，2000年)、弗赖堡(德国，2001年)、马斯特里赫特(2002年)、威尼斯(意大利，2007年)、大田(韩国，2008年)、埃德蒙顿(加拿大，2009年)、多特蒙德(德国，2010年)、海马角(阿拉伯联合酋长国)举行一次

举办这样的学术会议的竞争非常激烈。一方面，只有在微纳技术领域占据重要地位的国家和地区的代表才能参加会议讨论。同时，承担者必须在微观力学领域具有较高的国际影响力，并在其学科领域取得有影响力的学术成果。

西北工业大学在微观力学领域有着强大的实力，其成功申办此次会议表明其实力已经得到世界的认可。

西北工业大学花了十年时间才成功申办这次会议。会议在西工大学召开，标志着西工大学在微观力学领域的工作得到了世界顶尖专家的认可，表明西工大学具有与世界级学科相媲美的实力和重要的国际影响力。

经中国代表团大力推荐，经世界微机械大会执行委员会和主席团批准，决定本次大会在中国召开，由西北工业大学主办，西北工业大学机电工程学院袁教授主持，于2019年5月6日至10日在举行。

西北工业大学拥有“极端环境智能微系统国家重点实验室(培育)”、“空天教育部微纳系统重点实验室”和“陕西省微纳系统重点实验室”，以及机电工程国家重点学科、微机电系统和纳米技术国家重点学科和“985工程”、“211工程”相关科技创新平台。

微纳系统实验室成立于1993年，是中国最早的微机电系统研究单位之一。经过长期发展，特别是“十五”以来的“985工程”和“211工程”建设，已成为西北工业大学面向微纳体系培养博士研究生和创新设计人才的重要基地，具有较强的科研、设计开发和人才培养能力。目前，实验室拥有国内一流和国际先进的实验条件，在国内高端微机电系统和“三航”应用的微机电系统集成设计中处于领先地位，在国际相关领域具有重要影响。

依托实验室建设和发展的“微电子机械系统与纳米技术”学科是机械工程一级学科下自主设立的两个学科，拥有博士和硕士学位授予权。它是机械工程一级学科与仪器科学与技术、光学工程和生物医学工程等两个学科的多项博士和硕士项目共同建立的一门新兴交叉边缘学科。它是西部工业大学“十五”重点建设学科和国家“985工程”重点建设项目。2002年，“微机电系统与纳米技术”被列为国防重点学科。2007年，以微纳系统技术为主要方向，被申报并批准为“机电工程”国家重点学科。此外，该实验室还有测量技术和仪器的博士项目，精密仪器和机械的博士项目，以及机械设计、制造和自动化的博士项目。

成立并发展成为国际一流的“空日教育部微纳系统重点实验室”和“陕西省微纳系统重点实验室”，在最近两次考试中均表现优异。目前，实验室设备资产已达4000多万元。实验室已形成了一个系统、完整的硅基微机电系统设计、制造和测试平台，这在国内尚属罕见；形成了一个国际领先的聚合物柔性微机电系统制造平台，有力地支持了学科建设和发展，提供了国内外OEM服务，保证了模型任务，促进了产业化发展。

实验室是国内高校少有的微纳系统制造和R&D平台之一。实验室有规范的管理、培训、运行和开放体系。该实验室为清华大学、北京大学、上海交通大学、771个航天研究所、0+618个航天研究所、212个武器研究所和中国科学院Xi安光学与力学研究所等国内几十个单位提供了微纳加工技术及相关器件的研发支持。此外，实验室还与航天014基地、总装29基地、中国船舶科学研究中心等建立了良好的合作关系。并正准备与华大电子等国内重点企业建立微纳技术联合培训中心。2010年，与山东省淄博高新区建立了微型传感器联合研究中心。

国家仪器重大项目、863、973、国防基础研究项目、国家自然科学基金等30多个国家级项目获得资助，资助总额超过1.2亿元。在微机电系统设计、智能皮肤流量测量和控制技术等方面处于国际领先水平。并且在微惯性器件和系统、微光学器件、微能量、微流体等方面形成了独特的特征。获国家技术发明二等奖2项，省科技一等奖3项。他在国内外重要学术期刊上发表了多篇高水平论文，其中包括5篇《微机电》论文，在世界顶级学术期刊中名列前茅，在中国大陆高校中名列前茅，242篇论文被收录在SCI/EI中。80多项国家发明专利获得授权。《微机电系统制造技术》是在国家科技学术出版基金资助下出版的。

建立了中国第一个微系统工程系，构建了完整的成本硕士-博士人才培养体系。2012年，宇易获全国百篇优秀博士论文奖。《微机械与微加工技术》是我国早期系统而全面的微机电系统论文之一，被评为教育部研究生推荐教材。微电子机械系统被列为唯一的国家规划教材。微纳精灵创新设计基地建成，学生获得20多项国际一等奖、国家一等奖等奖项，创新竞赛的获奖水平和总次数均位居全国前列。副总理刘延东和科技部部长万钢对学生的创新作品给予了高度评价。2014年，“创建微纳新兴跨学科平台，培养拔尖创新人才”的研究成果获得国家教学成果一等奖。

该团队被选为教育部创新团队。逐步形成了以优秀青年骨干教师为主的队伍，其中4人入选教育部新世纪优秀人才培养计划，1人获洪堡奖学金，2人入选中央组织部万人计划，1人入选拔尖青年人才，1人入选长江学者，1人成为院士有效候选人。

建立国家“111”人才引进基地。它与许多著名的国际大学建立了良好的合作关系，如加州理工学院、加州大学伯克利分校、慕尼黑工业大学、弗赖堡大学、巴黎师范大学等。它支持学生出国参加IEEE MEMS和其他领域的顶级国际会议，并派遣学生和教师到世界一流大学深造。诺贝尔奖获得者沃夫冈·克特勒、崔琦、美国工程院院士何志明等数十位著名教授应邀讲学，极大地提高了该学科的国际化水平。

参与者有很大的影响力

与会者包括微机械技术的创始人，世界上第一位实现微机械技术商业化的著名专家，美国工程院院士，美国机械工程学会终身会员，澳大利亚昆士兰微纳米中心主任，澳大利亚科技界奥斯卡奖获得者，德国弗劳恩霍夫研究所纳米电子系统中心主任，西班牙国家纳米研究中心主任，日本东京大学微纳米研究中心主任， 韩国科学院微纳研究中心首席科学家、韩国微纳学会会长、中国相关领域院士等。 他们的一些作品改变了历史，一些被写进了教科书。

会议的方向涉及微机械等世界前沿技术，以及与国家科技发展和人民生活密切相关的智能制造、芯片制造等国家热点和难点。

微电机是一种基于芯片制造技术的精密机械，通常包括微纳传感器、微纳执行器和检测控制电路。它是继微电子之后发展起来的又一项战略性高科技。它是人类认识和改造世界的重要新手段，是功能结构小型化、集成化和灵巧化的典型代表。微力学不仅涉及微电子学、微力学、微光学、微流体学、微热力学、物理学、化学和生物学等诸多学科，还涉及从材料、设计、制造、控制、能源到测试、集成、封装等一系列技术环节。它被认为是21世纪有望从根本上改变世界面貌的关键技术领域，也是一个竞争国际发展的战略性高技术领域。

鉴于微机械产品的多样性和诸多优势，国民经济中几乎所有行业都对微机械产品的应用有着广泛而迫切的需求。从物联网、智慧、智能建筑和智能交通的建设，到水质、土壤和大气的监测和保护；从解决废油、毒奶粉等安全问题，到禽流感、非典等高传染性病毒的预监测；从预防现代老龄化社会常见疾病如糖尿病、高脂血症和青光眼到治疗各种难治性疾病如艾滋病和癫痫；从高端机床和油气田的研发，到大型飞机、载人航天和探月，以及航空发动机，16个国家的几乎所有重大科技项目都迫切需要微机械产品的应用。

微机械高科技产品悄悄地改变了我们的生活。微陀螺仪使手机识别我们的动作并变得智能，微加速度计实现对汽车安全气囊的可靠控制，微镜使高质量的汽车投影系统成为现实，各种微传感器成为物联网和人工智能的耳目，深刻地改变了人类生活。

经过20多年的发展，微机械技术已经形成年产值超过140亿美元的产业规模，并将带动年产值超过10万亿美元的产业实现跨越式发展。越来越多的行业逐渐实现了微机械技术的升级换代和实现跨越式发展，微机械行业正面临着新一轮的战略发展机遇。

会议报告内容丰富，提出了许多突破性和领先性的科学技术。

来自20多个国家和地区的微力学领域“国家团队”的代表，对微力学领域的科学技术发展做出了精彩的报道，许多“黑色技术”有望进一步改变人类生活。

美国工程院院士、美国机械工程学会终身会员库尔特·彼得森(Kurt Peterson)报道了许多新技术，包括可植入盲人眼睛的微机械系统、大手掌基因测序芯片以及用于疾病诊断的便携式微机械分子检测设备。

南洋理工大学的苗建民教授报道称，微机械芯片可用于检测空气污染环境，这可能为我们的烟雾监测和分析提供一种新的技术手段。

比利时鲁汶大学的米夏埃尔·克拉夫特教授报道，用于微型生化反应器的多物理量集成传感器可以检测葡萄糖、乳酸、酸碱度、细胞密度等。同时在一个芯片上，或可用于检测可循环使用的生命系统在泰空站。

中国科学院电子研究所王军波研究员报道了一种基于电化学原理的新型地震波传感器，可用于地震探测、地球物理勘探和海底探测。

北京大学的张海霞教授报道了一种手机滑动能力装置，它可以通过在手机表面制作一层特殊的不可见的微纳薄膜并用手指滑动来产生能量。换句话说，我们可以通过滑动手机来发电。虽然目前功耗还比较小，但未来有很大的发展前景。

清华大学的朱荣教授报道了一种基于电极阵列的细胞处理仪器，它能够捕获、移动、测量和穿透单个细胞，为生物医学提供了一个方便的细胞实验站。

西北工业大学的常宏龙教授报道了一种高灵敏度微型传感器的新机制，这种传感器的灵敏度是世界上同类传感器的数百倍。在此基础上，他们制造了可以测量单个电子的超精密仪器，可以应用于特殊的高精度领域，如航空航天。

此次会议的召开，对推动Xi西安西工大学和陕西省的微机械、芯片制造、智能制造等高新技术领域的发展起到了重要作用。

西北工业大学首次获得世界微机械峰会主办权，表明了西工大学在这一领域的实力和地位，也表明了Xi和陕西在微机械、芯片制造和智能制造等高科技领域的强大实力。此次会议的召开，将进一步扩大西工大学、xi市和陕西省在相关高新技术领域的影响力，推动高校双级建设和Xi、陕西省的高新技术发展。(正文/图袁祥龙)

编者:张嘉诚

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