北方华创Saqua? 单片清洗机进驻中芯北方28纳米生产线

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近日，北华创(002371)集团全资子公司北京北华创微电子设备有限公司的saqua单片机清洗机正式进入SMIC北华创集成电路制造(北京)有限公司(简称SMIC北华创)28纳米生产线，标志着北华创集成电路清洗设备的综合性能达到了同类型产品的国际先进水平，是国内半导体设备在集成电路领域的又一重大突破。

集成电路铜工艺的清洗工艺在颗粒控制、铜腐蚀速率、金属污染控制、交叉污染控制等方面要求很高的工艺标准。北华创自主研发的新一代saqua单片机清洗机是继90纳米和65/55纳米产品之后的又一次升级。新设备完全能够满足集成电路代工28纳米技术的生产工艺要求。同时，saqua单片机清洗机具有孔/槽刻蚀后清洗和垫片去除后清洗等多道工序，支持多任务并行处理，可最大限度地提高生产率。

截至目前，华北华创已进入国内主流28纳米生产线，拥有硅刻蚀机、pvd设备、整体式退火设备、氧化退火炉、lpcvd设备和整体式清洗机，实现了稳定的批量生产。北方华创将以此为契机，进一步跟进客户需求，为客户创造更多价值，实现国内集成电路设备的不断超越！

(汪洋)